光产酸剂(WPAG系列)

化学特性

Diazodisulfones Triphenylsulfonium salts

敝敝司光产酸剂系列产品生已通过各大LSI(大规模集成电路)用准分子光阻剂​​制造厂的质量与效能认证。除了以下所列之产品外,和光纯药亦积极开发各种重氮二砜系及三苯基锍盐系光产酸剂。敝司亦售有可作为阳离子光引发剂的二苯基碘化合物WPI系列。敝司提供丰富多样的等级,从高级至通用级品质皆有贩售,亦可依据客户的需求定制合成不同光产酸剂。

用途

WPAG-145 (Bis(cyclohexylsulfonyl)diazomethane))

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CAS.No: 138529-81-4

摩尔质量: 334.45

物性参数

颜色
外观
白色 - 亮黄色
晶体或晶体粉末
熔点 130.1~130.6℃
溶解情况 水、乙醇、己烷:几乎不溶。
丙酮、乙酸乙酯:易溶。

Packaging


法规信息

中国化审法

适用于半导体装置制造光阻剂等应用

WPAG-170 (Bis(tert-butylsulfonyl)diazomethane))

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CAS.No: 138529-84-7

摩尔质量: 282.38

物性参数

颜色
外观
微黄色 - 黄色
晶体粉末
熔点 121℃
溶解情况 水、甲醇:几乎不溶。
氯仿、丙酮、乙腈:易溶。

包装


法规信息

中国化审法

适用于半导体装置制造光阻剂等应用

WPAG-199 (Bis (4-methylphenylsulfonyl) diazomehtane)

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CAS.No: 14159-45-6

摩尔质量: 350.41

物性参数

颜色
外观
亮黄色 - 黄色
晶体或晶体粉末
熔点 121.4~122.4℃
溶解情况 水、乙醇、己烷:几乎不溶。
丙酮、乙酸乙酯:略易溶。

包装


法规信息

中国化审法

适用于半导体装置制造光阻剂等应用

WPAG-336 (Diphenyl-4-methylphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate)

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CAS.No: 81416-37-7

摩尔质量: 426.47

物性参数

颜色
外观
白色
晶体
熔点 102℃
溶解情况 水:不可溶。
丙酮、PGMEA(1-methoxy-2-propyl acetate):可溶。


包装


法规信息

中国化审法 ×

适用于半导体装置制造光阻剂等应用

WPAG-367 (Diphenyl-2,4,6-trimethylphenylsulfonium p-toluenesulfonate)

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CAS.No: 347841-51-4

摩尔质量: 476.66

物性参数

颜色
外观
白色
晶体或晶体粉末
熔点 112~113℃
溶解情况 水、甲醇、丙酮、二氯甲烷:可溶。



包装


法规信息

中国化审法 ×

适用于半导体装置制造光阻剂等应用

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